氣體種類

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除了是屬於惰性氣體之外,幾乎都是毒性氣體。

而像SiH4、B2H6、PH3這些則屬於自燃性氣體( ...氣體阻障膜之介紹與應用- 大永真空科技股份有限公司Dah Young因此藉由阻障膜來阻擋氣體或濕氣的傳遞,是一種有效的封裝(Packaging)技術, 可以有效延長產品的壽命。

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四、排放流率監測設施,其量測項目為排放流率及溫度。

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