從製程微控到水去除技術奇鼎研發強- 奇鼎科技股份有限公司
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繁中|簡中|English奇鼎科技深耕半導體製程環境控制設備製造、製程機台維修與保養、建廠整合等服務。
因有完整的半導體製程經驗與有強大的研發團隊作為後盾,奇鼎與半導體先進世代俱進,持續突破技術瓶頸,帶動晶圓製程良率大幅提升。
隨著電晶體閘極線寬的逐漸縮小,奇鼎克服製程微縮的環境難題,研發出製程精密溫濕度控制機組(TCU),調節流場、溫度(±0.01度)、溼度(±0.5%RH)以及潔淨度(ISO Class 1)。
更進階的曝光機鏡組霧化防護機組(TAU),可去除製程環境中80%以上的氣態分子汙染物(AMC